Descripción de la patente
Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen BAW, que comprende una pluralidad de filtros, con una pluralidad de resonadores, con frecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustrato común, cuyo método de fabricación comprende: – depositar una estructura de aislamiento acústico y eléctrico (2, 3) sobre la superficie superior de un sustrato, – depositar una capa de un metal como electrodo inferior (4) y semilla para el crecimiento de la capa subsiguiente, – depositar secuencialmente una pluralidad de capas delgadas de material piezoeléctrico (5, 6) sobre el electrodo inferior (4), situadas en las posiciones donde un resonador, con la frecuencia correspondiente al espesor de dichas capas, se quiera situar, y su posterior grabado, – eliminar todo el material usado como máscara en el grabado realizado, – depositar, sobre todos los resonadores, una capa metálica de espesor constante, que constituye el electrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro.
Situación
Concedida
Número de solicitud
P200900936
Número de publicación
ES2327890
Fecha de presentación
06/04/2009
Fecha de concesión
03/05/2010
