Ficha
UVO Cleaner (Jelight - Model 18)
Dónde:
Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones (CEMDATIC)
Ubicación:
ETSI de Telecomunicación, B08 / Cámara Limpia
Tipología:
Equipamiento científico-Tecnológico
Responsable: Ricardo Hervás García
Correo electrónico:
UVO, (Ultra Violet Ozone)
Microtecnología, Nanotecnología, Microelectrónica, Fotónica
Tratamiento con ozono sobre las capas de sustratos, limpieza de factores orgánicos mediante luz UV y ozono.
Limpieza de sustratos.
Digital, Industry and Space
Health
Climate, Energy and Mobility