Ficha
SEM Zeiss EVO 10
Dónde:
Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones (CEMDATIC)
Ubicación:
ETSI de Telecmunicación, A409L
Tipología:
Equipamiento científico-Tecnológico
Responsable: Teona Mirea
Correo electrónico:
Microscopio electrónico de barrido EVO10 de alta resolución automatizado, incluyendo detector de electrones secundarios, PC de control, joystick y panel de control
Microtecnología, Nanotecología, Microelectrónica, Fotónica
Este tipo de microscopios ofrecen imágenes de las superficies de diversas
muestras con resoluciones de pocos nanómetros (nm). Están basados en la
interacción de los electrones con la materia de nuestra muestra. Su reducido tamaño permite abrir, cerrar y
vaciar la cámara en 1-2 minutos, lo que nos abre la posibilidad de analizar muchas
más muestras en tiempos más cortos. Su resolución de trabajo puede llegar a 1-3
nm dependiendo del material a analizar.
- Análisis de microestructuras 3D con imágenes en ángulo. Estas estructuras
se imprimirán para la realización de lentes de forma libre, espejos y otros
diseños novedosos.
- Análisis de capas funcionales para su integración tanto en microsensores
electroacústicos de gases como biológicos. El espesor de estás capas oscila
entre 5 y 50 nm.
- Análisis de nanotubos de carbono cuyos diámetros oscilan entre 1 nm y
varios nm.
- Decoración de diferentes microestructuras con nano-partículas para su uso
en microsensores.
- Para la fabricación de microsensores y filtros a muy altas frecuencias
-Microestructuras 3D para la realización de lentes de forma libre, espejos y otros
diseños novedosos. La polimerización de dos fotones permite imprimir
microestructuras ópticamente transparentes con superficies lisas a lo largo
de un proceso delgado. La tecnología no solo se utiliza para fabricar
micropartes en sustratos planos, sino también para imprimir directamente
estructuras complejas con precisión en patrones y topografías preexistentes,
eg. en circuitos integrados fotónicos, en puntas de fibra óptica y en obleas
prefabricadas. Este método permite la miniaturización y la fabricación sin
ensamblaje de interfaces ópticas con microimpresión 3D in situ de alta
precisión en varios materiales, como InP, SOI y Si3N4.
- Nanofiltración y detección de nanoparticulas usando nanotubos de carbono integrados en sensores electroacústicos.
-Fabricación de microresonadores para sensores y filtros a muy altas frecuencias.
