Ficha
Sala Limpia
Dónde:
Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones (CEMDATIC)
Ubicación:
ETSI de Telecomunicación. A-301-L
Tipología:
Infraestructura Científica
Responsable: Ricardo Hervás
Correo electrónico:
Sala limpia de 70 m2 clase 10000 dotada de técnicas de depósito físico (PVD) y químico (CVD), hornos, sistemas de fotolitografía de contacto, campanas de química, ataque seco y húmedo
Tecnología microelectrónica
Tecnología de micro fabricación
Sala limpia con bajo contenido de impurezas necesario para la realización de tecnología de película delgada, micro y nano fabricación
Entre otros...
Fabricación de dispositivos basados en semiconductor (transistores, diodos)
Fabricación de micro resonadores acústicos basados en película delgada piezoeléctrica
Fabricación de sensores químicos y biosensores
Fabricaciones de filtros de alta frecuencia...
Tecnología de semiconductores (nanotecnología)
Tecnología de sensores y biosensores
Tecnología de células solares
Tecnología de componentes para comunicaciones de alta frecuencia
