Ficha
Plato giratorio eléctrico - Spinner programable, (WS650MZ-23NPP)
Dónde:
Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones (CEMDATIC)
Ubicación:
ETSI de Telecomunicación, B08 / Cámara Limpia
Tipología:
Equipamiento científico-Tecnológico
Responsable: Ricardo Hervás García
Correo electrónico:
Spinner para sustratos programable
Microtecnología, Nanotecnología, Microelectrónica, Fotónica
Spinner para pequeños sustratos u obleas de diferentes tipos de materiales para la deposición y ajuste de espesor de resinas y polímeros sobre estos en procesos de fotolitografía.
Deposito de resinas y polímeros para procesos de fotolitografía.
Spinner programable en aceleración, tiempo y vueltas por minuto y diferentes tipos de rampas y programas.
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