Ficha
Perfilómetro, (Veeco Dektak 150)
Dónde:
Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones (CEMDATIC)
Ubicación:
ETSI de Telecomunicación, A301L / Cámara Limpia
Tipología:
Equipamiento científico-Tecnológico
Responsable: Ricardo Hervás García
Correo electrónico:
Perfilómetro
Microtecnología, Nanotecnología, Microelectrónica, Fotónica
Dispositivo utilizado para medir espesores de películas delgadas y la rugosidad de las superficies.
Dektak 150 estándar utiliza una etapa X-Y de 100 x 100 milímetros, Equipado con una pletina automática X-Y de 150 milímetros que puede proporcionar un mapeo 3D, automatización y capacidad de programación en más de 200 sitios de la muestra.
Admite muestras de hasta 90 milímetros de grosor, pudiendo realizar escaneos largos de hasta 200 milímetros para medir la tensión sobre las obleas. Otras características de la pletina es que incluye pines de alineación de obleas para facilitar su uso, así como sistema de sujeción por vacío.
Medición y estudio de la rugosidad, espesores de capas, tensión superficial de estructuras multicapa en dispositivos semiconductores, FBAR, SAW y MEMS.
Tecnología de semiconductores (nanotecnología)
Tecnología de sensores y biosensores
Tecnología de componentes para comunicaciones de alta frecuencia
