Ficha
MA-6 fotolitografía por proyección de máscara
Dónde:
Grupo de Óptica Fótonica y Biofotónica (GOFB)
Ubicación:
Grupo de Óptica, Fotónica y Biofotónica, Centro de Tecnología Biomédica
Tipología:
Equipamiento científico-Tecnológico
Responsable: Miguel Holgado
Correo electrónico:
EQUIPO DE LITOGRAFIA MA6 CON POSIBILIDAD DE ACOPLE DE SISTEMA DE NANOIMPRESION SUSS MA6
Micro y Nano Fabricación
Equipo de fotolitografía para la fabricación de estructuras micro y nanométrica mediante proyección de máscara
Fabricación de sensores interferométricos a nivel de oblea