Ficha
ICP RIE Equipo generador de plasma PRONGP901CP
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Manuel Abuin
Correo electrónico:
ICP RIE Equipo generador de plasma PRONGP901CP
Su área de actividad se enmarca en el ataque selectivo de capas de distintos materiales
Permite eliminar de forma controlada capas de materiales mediante su plasma de iones reactivos
Se usa para realizar distintos ataques reactivos secos de forma controlada. Permite crear ataques con paredes verticales
Microelectrónica, nanoelectrónica