Ficha
Equipo de Nanolitografía mod. CABL-9500C
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: manuel.abuin@upm.es
Correo electrónico:
Equipo de Nanolitografía mod. CABL-9500C
Micro y nanofabricación de dispositivos
Permite realizar estructuras micro o nanométricas mediante el uso de un haz de electrones
Se usa para investigación y desarrollo de nuevos prototipos de dispositivos de tamaños micrométricos o nanométricos
Nanotecnología
Equipo único en España con la mayor resolución.