Posgrados propios de la UPM (Microcredenciales)
DISEÑO, FABRICACIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE RESONADORES MEMS ELECTROACÚSTICOS
| Web | https://blogs.upm.es/ue-upm/formacion/ |
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| Impartición | 13 de enero de 2025 - 19 de febrero de 2025 |
| Inscripción | 02 de octubre de 2024 - 13 de diciembre de 2024 |
| Matriculación | 02 de octubre de 2024 - 30 de enero de 2025 |
| Créditos | 3 ECTS |
| Plazas | 20 |
| Matrícula |
€
Observaciones: 100% gratuito. Coste financiado por Cátedra UPM-INDRA en Microelectrónica. |
| Modalidad | - Semipresencial |
| Titulación Requerida | Titulación Universitaria(Licenciado, Ingeniero, Arquitecto, Ingeniero Técnico, Arquitecto Técnico, Diplomado) |
| Objetivos | Curso eminentemente en el que se introduce a los alumnos en los aspectos prácticos de fabricación de dispositivos MEMS activados piezoeléctricamente con películas delgadas de AlN. En concreto, se abordará la fabricación de un resonador de ondas acústicas, ya sea de superficie (SAW) o de volumen (BAW). El curso abarca el diseño de los resonadores usando los modelos de Mason y Butterworth Van Dyke, su microfabricación mediante técnicas pulverización, fotolitografía y ataque, y la caracterización de su respuesta en frecuencia para la determinación de la frecuencia de resonancia, factor de calidad y factor de acoplo electromecánico. |
| Programa |
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| comunidad.microelectronica |-O-| upm.es |