Descripción
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ANALISIS DE CRECIMIENTO DE NITRURO DE SILICIO | |
Internacional
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No |
Nombre congreso
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21 reunion de espectroscopia y 5 congreso iberico de espectroscopia |
Tipo de participación
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960 |
Lugar del congreso
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murcia |
Revisores
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No |
ISBN o ISSN
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00-0000-000-0 |
DOI
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no tiene isbn |
Fecha inicio congreso
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09/09/2008 |
Fecha fin congreso
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11/09/2008 |
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Título de las actas
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Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges. |