Memorias de investigación
Artículos en revistas:
PostCMOS compatible sacrificial layers for aluminum nitride microcantilevers
Año:2014

Áreas de investigación

Datos
Descripción
0
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
ISSN
1932-5150
Factor de impacto JCR
1,148
Información de impacto
Volumen
13
DOI
10.1117/1.JMM.13.4.043012
Número de revista
4
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Mes
Ranking
0

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Participantes

Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: No seleccionado
  • Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Departamento: Ciencia de Materiales
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología