Descripción
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Internacional
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Si |
JCR del ISI
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Si |
Título de la revista
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JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS |
ISSN
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1932-5150 |
Factor de impacto JCR
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1,148 |
Información de impacto
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Volumen
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13 |
DOI
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10.1117/1.JMM.13.4.043012 |
Número de revista
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4 |
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Mes
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