Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Etching of AlGaN/GaN by Cl2-based ICP
Año:2013
Áreas de investigación
  • Ingenierías,
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
Relacionado con líneas de investigación del GDS del ISOM http://www.isom.upm.es/dsemicondu
Internacional
No
Nombre congreso
9ª Conf. Dispositivos Electrónicos, CDE2013
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Valladolid (Spain), 2013
Revisores
Si
ISBN o ISSN
0000000000000
DOI
Fecha inicio congreso
12/02/2013
Fecha fin congreso
14/02/2013
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Título de las actas
Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica